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                微流控技术【材料和微加工方法

                添加时间:2021-04-06 11:44:59   浏览次数:533  

                       制作微流控芯片的主要材料有硅片、玻璃、聚二甲基硅氧烷▆(PDMS)、聚甲基丙烯酸甲酯、聚四氟乙烯和纸基等。其中PDMS的使用范围很是广泛。这种材料不仅加工简单、光学透明,而且具有一定的弹性,可以制︾作功能性的部件,如微阀和微蠕动泵等。PDMS微阀的密度可以达到30个/cm。但是PDMS材料容易吸附疏水性小分子,导致背景升△高和检测偏差。为了克服非特←异性吸附的问题,表面惰性且抗黏附的聚四氟乙烯材料开【始被用于制作微流控芯片。纸基↓通常指的具有三维交错纤维结构的薄层√材料,但是硝酸纤维素膜一般也常用于纸基微流控◥芯片的制作。因为纸基具有价格便宜、比表面积大和亲水毛细作用力等①特点,通过结合疏水性图案化和纵向堆积等步骤,具有多元检测和多步操作集成等】优点,非常适合制作便携易◎用的微流控芯片。

                       不同的材料特性决定了不同的微加工方法。但是微流控〗芯片主要的加工方法是来自于微@ 电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技♀术。在上述两种技术的基础上,为了制作完整的微流控微通道,一般还需要对两片材料进行键合。玻璃→和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合,而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。

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